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今天開始
上課時間是從早上九點開始
呼...好久沒有這麼早上課了
果不其然,頭很暈啊...
昏昏沉沉的,聽何智煌先生在講廠房設備介紹
(民國66年6月6日開始進入半導體界,一聽到我就偷笑出來了 XD)
然而,大敗筆在於,我以為今天都是在實作
所以,什麼都沒帶,只帶了一顆疲憊的心情去工三館...
結果,當然是一個早上都在用耳朵,手完全沒派上用場
昨晚一點多睡,當時頭真的超昏 @@"
下午終於開始實作課程
今天內容也不多,主要就是先把wafer進行標準清洗(SPM)
再於攝氏1100度的高溫爐管內,通入氧氣與氫氣
在Si wafer(1,0,0)表面進行高溫氧化(濕氧化法)
長上5000A的SiO2
再利用旁邊的機器進行膜厚量測
除此之外,還順便看講師玩了旁邊的阿法-step跟橢圓儀
都是拿來測膜厚的~只是測量方法不一樣而已
唉,看來我現在只能藉由晚上在這裡review白天課程
藉此慰藉自己,真的有在學東西...
好累...
明天開始真的要一整天悶在FAB了...
真的不好玩...
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